全自動(dòng)CVD滑軌爐設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做石墨烯的生長(zhǎng)、高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火，尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗(yàn)。

項(xiàng)目	明細(xì)
供電電壓	AC220V，50Hz
整機(jī)功率	5KW
工作溫度	≤1100℃
加熱速率	建議10℃/min
爐管尺寸	O.D.50mm-220mm-220mm（加熱區(qū)）-1200mm管長(zhǎng)
控溫精度	0.1℃
溫區(qū)	雙溫區(qū)
混氣系統(tǒng)	4路質(zhì)子流量計(jì)：100sccm1個(gè)；200sccm1個(gè)；500sccm2個(gè)
真空泵	雙極旋片真空泵

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