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PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù)，能夠利用高能量等離子體促進(jìn)反應(yīng)過(guò)程，有效提升反應(yīng)速度，降低反應(yīng)溫度。適用于在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂，適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽(yáng)電池器件，可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
PECVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) |
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-PECVD-500T-SS |
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供電電源 |
AC220V 50Hz |
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射頻電源 |
信號(hào)頻率 |
13.56MHz |
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功率輸出范圍 |
0~300W |
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*大反射功率 |
100W |
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反射功率 (在*大功率時(shí)) |
<5W |
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功率穩(wěn)定性 |
±0.1% |
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工作腔體 |
加熱溫度 |
RT-400℃ |
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溫控精度 |
±1℃ |
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樣品臺(tái)尺寸 |
Φ200mm |
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樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 |
1-20rpm 可調(diào) |
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噴頭尺寸 |
Φ200mm |
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距離 |
噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續(xù)可調(diào) |
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沉積工作真空 |
0. 133- 133Pa （可根據(jù)工藝調(diào)整） |
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法蘭 |
上翻蓋設(shè)計(jì)，基材易更換，并有可視窗口 |
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腔體 |
不銹鋼材質(zhì), Φ500mm * 500mm |
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觀察窗 |
Φ40mm |
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供氣系統(tǒng) |
通道數(shù) |
定制 |
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測(cè)量單位 |
質(zhì)量流量計(jì) |
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測(cè)量范圍 |
A 通道: 0～200SCCM for H2 |
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B 通道: 0～200SCCM for CH4 |
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C 通道: 0～200SCCM for C2H4 |
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D通道: 0～500SCCM for N2 |
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E通道: 0～500SCCM for NH3 |
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F通道: 0～500SCCM for Ar |
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測(cè)量精度 |
±1.5%F.S |
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工作壓差 |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
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連接管材質(zhì) |
304 不銹鋼 |
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氣路 |
304 不銹鋼針閥 |
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進(jìn)氣和出氣接口規(guī)格 |
1/4" 卡套接頭 |
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真空系統(tǒng) |
前級(jí)泵抽速 |
4.7L/s |
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分子泵抽速 |
60L/s |
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真空測(cè)量 |
復(fù)合真空計(jì), 范圍10-5Pa ~ 105Pa |
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真空度 |
5.0*10-3Pa |
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水冷機(jī) |
冷卻水溫度 |
≦37℃ |
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水流速 |
10L/min |
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功率 |
0.1KW |
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冷卻功率 |
50W/℃ |
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空壓機(jī) |
OTS-550 |
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產(chǎn)品尺寸 |
1362*736*1434 |
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產(chǎn)品重量 |
280公斤 |
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