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產品詳情
  • 產品名稱:光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MSZ180-I-DC-SS?
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質的膜層
詳情介紹:

單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種常見的物**相沉積(PVD)技術,用于制備各種薄膜材料。其工作原理是使用一種叫做磁控濺射的技術,將高純度的金屬或合金靶材濺射生成離子和中性原子,并將它們沉積在基底上形成薄膜。在這種濺射系統中,使用單個靶材,通常是金屬或合金的圓盤形,通過在靶材上施加高電壓和磁場,將靶材表面的粒子加速并噴向基底。由于基底通常是經過高溫處理過的,因此濺射的金屬粒子會快速擴散并形成均勻的薄膜。

為了增加濺射速率和膜質量,光纖繞絲技術被引入其中。在光纖繞絲技術中,將纖維繞在靶材和基底之間,形成一條薄薄的縫隙。通過調整靶材和基底之間的距離并控制濺射能量,可以更加**地控制沉積在基底上的薄膜的厚度和組成。

單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀是一種用于制備薄膜的設備。它可以在基板表面形成均勻、致密、薄且具有特定性質的膜層。

這種濺射系統非常適合制備高質量、高純度、均勻性好的金屬和合金薄膜,廣泛應用于微電子、光學、電池、太陽能電池等領域。

1. 光學薄膜制備:用于制作高反射、抗反射等光學薄膜。

2. 電子器件制備:用于制備半導體器件、導電膜等。

3. 光學器件制備:用于制備太陽能電池、液晶顯示器、LED等器件。

4. 防護涂層制備:用于制備具有防水、防油、防紫外線、防磨損等性能的涂層。

總的來說,單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀廣泛應用于科研和工業(yè)領域中的薄膜制備。


單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀技術參數:

產品型號

CY-MSZ180-I-DC-SS

供電電壓

AC220V50Hz

整機功率

2kw

繞絲機構

尺寸

Φ15mmx245mm

繞絲速度

1-300r/min

磁控濺射頭

數量

英寸x1

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

Φ213mm X 307mm

觀察窗口

φ80mm

開啟方式

上頂開式、左側開式

腔體材料

不銹鋼 304

電源配置

直流電源數量

輸出功率

300W

匹配方式

自動匹配

水冷系統

水箱容積

9L

流量

10L/min

供氣系統

類型

手動微量調節(jié)閥

真空系統

前級泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

次級泵

渦輪分子泵

抽速

60L/s

抽氣口

ISO63

出氣口

KF16

真空計

復合真空計



豫公網安備 41019702002438號

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