質(zhì)量流量控制器由流量傳感器，分流器通道，流量調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成，質(zhì)量流量計由流量傳感器，分離器通道和放大控制電路等部件組成。氣體流過質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量計）時，一部分氣體通過流量傳感器。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)，將檢測的流量信號送入電橋，電橋?qū)⒘髁啃盘栟D(zhuǎn)變成電信號，電信號經(jīng)放大器放大為0～5V，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的MT系列流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源, 3 位半數(shù)字電壓表, 設定電位器, 外設、內(nèi)設轉(zhuǎn)換和三位閥控開關等。MFC與流量顯示儀連接后的質(zhì)量流量計的工作原理如圖所示：